GSF係列高精密電子(zǐ)束蒸(zhēng)發光學真空(kōng)鍍膜機

日期:2016-01-13 10:18:51 人氣:24018
GSF係(xì)列高精密電子束(shù)蒸(zhēng)發光學(xué)真空鍍(dù)膜機

工作原(yuán)理

GSF高精密電子束蒸發光學真(zhēn)空鍍膜機的工作原理是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材(cái)中的原子或分子從(cóng)表麵(miàn)汽化逸出後(hòu)入射到基片表麵凝結成膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱(rè)效率高、束流(liú)密度大(dà)、蒸發(fā)速度快,製成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可(kě)鍍製(zhì)層數較(jiào)多的短(duǎn)波通、長波通、增透膜(mó)、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介(jiè)質膜(mó)、高反膜、彩色反(fǎn)射膜等各種膜係,能夠實現0-90層膜的膜係鍍膜,也能(néng)滿(mǎn)足如汽車反光玻璃、望遠鏡、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯(bēi)等產品(pǐn)的鍍膜要(yào)求(qiú)。配置不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物(wù)及其(qí)他高熔點膜材皆可蒸鍍。

產品特點

1)、高精密光學鍍(dù)膜機配備(bèi)有石英晶體(tǐ)膜厚儀、光(guāng)學膜厚自動控(kòng)製係(xì)統(tǒng),采用PLC與工業電腦配合自(zì)主研發的PY3100係統聯合(hé)實現對整個工作(zuò)過程的全自動控製,可以實現無人值守,從而提高了工作效率和保證產品(pǐn)質量(liàng)的(de)一致(zhì)性和(hé)穩定性。
2)、大抽速真(zhēn)空係統加配深冷裝置,優秀的動態真空(kōng)能力,為複(fù)雜的光(guāng)學膜係製備提供了必要的真空條件保障。
3)、蒸發分布穩定、性能可靠的E型電(diàn)子槍,優化設計的蒸(zhēng)發源與(yǔ)工件架之間的位置關係,為精密膜係的實現調工(gōng)了膜(mó)料蒸發分布方麵的(de)保障(zhàng)。
4)、平穩而高速旋轉的工件架轉動係統,使工件架內外圈產品光譜曲線更趨於(yú)一(yī)致。
5)、適用於光學領(lǐng)域行業,大(dà)規模工(gōng)業生產(chǎn)高端要(yào)求的廠商使用。

技術參數表

GSF高精密(mì)電(diàn)子束蒸發光學真空鍍膜機
型號GSF-800GSF-1200GSF-1400GSF-1600GSFW-1000GSFW-1200GSFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵(bèng)機組(zǔ)KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機(jī)組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子(zǐ)槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強控製儀
控製方式半自動或全自動
膜厚監(jiān)控係統(tǒng)石英晶體(tǐ)膜厚監控(kòng)係統、光學膜厚監控係統(tǒng)
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設(shè)備參數僅做參(cān)考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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