CJ係列磁控(kòng)濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:66668
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物(wù)體,從(cóng)而引起物體表麵原子從母體中逸出的現象。早在(zài)1842年Grove在實驗室中(zhōng)就發現了這種(zhǒng)現(xiàn)象。磁控濺射靶采(cǎi)用靜(jìng)止電磁場,磁(cí)場為曲線形,均(jun1)勻電場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸(zhóu)圓柱靶。電子(zǐ)在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原(yuán)子發生(shēng)碰撞。若(ruò)電子(zǐ)具(jù)有(yǒu)足夠的能量(約(yuē)為30ev)時,則電(diàn)離出Ar+並產生電子,電子飛(fēi)向基片,Ar+在電場作用下,加速(sù)飛向陰(yīn)極(jí)(濺射(shè)靶)並以高能量轟擊靶(bǎ)表(biǎo)麵,使靶材發生濺(jiàn)射。
廣泛應用於家電(diàn)電器、鍾表、高爾夫球(qiú)頭(tóu)、工(gōng)藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀(yí)器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模(mó)具的功能(néng)塗層,在鍍製超黑膜、純(chún)金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大(dà)的表麵上獲得厚度(dù)均勻的膜層;
2)、薄膜(mó)與基片(piàn)的附著力強。部分高能量的濺射原子(zǐ)產生不同程度的注(zhù)入現象,在基(jī)片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶(róng)合的偽擴散層;
3)、製(zhì)備特殊材料的薄(báo)膜,可以使用不同的材料同時濺射製備(bèi)混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高(gāo),濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源(yuán),無需加熱直接常溫(wēn)冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機(jī) | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵機組(zǔ) | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 |
鍍膜係統 | 直流(liú)或中(zhōng)頻電源、鍍(dù)膜輔助離(lí)子專用電(diàn)源 |
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流(liú)量(liàng)計 | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或(huò)全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或(huò)全自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具(jù)體均按客戶(hù)實際(jì)工藝要求(qiú)設計(jì)訂做 |