CJ係列磁控濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:66444
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的(de)磁控濺(jiàn)射工作原理,所謂(wèi)“濺射”就是(shì)用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表(biǎo)麵原子從母體中逸出的現(xiàn)象(xiàng)。早在1842年Grove在實驗室(shì)中就(jiù)發(fā)現了這種現象。磁控濺射靶(bǎ)采用靜止電磁場,磁場為曲(qǔ)線形,均勻電場和對數(shù)電場則(zé)分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加(jiā)速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電(diàn)離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用(yòng)下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手(shǒu)機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚(zhuān)等表麵裝飾性(xìng)鍍膜及工模具(jù)的(de)功(gōng)能塗層,在鍍製超黑膜、純金(jīn)裝飾膜、導電膜等(děng)領(lǐng)域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製(zhì)預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜(mó)可(kě)以在較大的表麵上獲(huò)得厚度均勻的(de)膜層;
2)、薄膜(mó)與基(jī)片的附著力強。部分高能量的濺射原(yuán)子產生不同程度(dù)的注(zhù)入現象,在基片上形成一層(céng)濺射原子與基片原子(zǐ)相互溶合(hé)的偽擴(kuò)散層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同時濺射(shè)製備混合膜、化合膜,還可(kě)濺射(shè)成TiN仿金膜;
4)、膜層純度(dù)高,濺射膜(mó)層中不會混入坩鍋加熱器(qì)材料的成份。
5 )、裝備低溫離子(zǐ)輔助源,無(wú)需(xū)加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省(shěng)電,提高產(chǎn)能(néng)。
CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴(kuò)散泵(bèng)機組 | KT800擴散泵機組(zǔ) | KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) |
鍍膜(mó)係統 | 直流或中頻電源、鍍(dù)膜輔助離子專用電源 |
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流(liú)量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動(dòng) | 手動或(huò)全自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考(kǎo),具體(tǐ)均按客戶實際工(gōng)藝要求設計訂(dìng)做 |