超大型板材管材真空鍍膜機

日(rì)期:2016-01-13 10:16:58 人氣:22965
超大型板材管材真(zhēn)空鍍膜機

工作原理

離子鍍是真空室中,利(lì)用(yòng)氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣(qì)體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發物(wù)或(huò)反應物沉(chén)積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機(jī)結合起來,不僅能明顯地改(gǎi)進了膜(mó)質量,而且還擴大了薄膜的應(yīng)用範圍。其優點是(shì)薄膜附著力(lì)強,繞射性(xìng)好,膜材廣泛(fàn)等。多弧離子鍍與一般(bān)的離子(zǐ)鍍有(yǒu)著很大的區別。多弧離子(zǐ)鍍采用的是弧光放電(diàn),而並不是傳統離子鍍的輝光(guāng)放電進行沉積(jī)。簡單的說,多弧(hú)離(lí)子鍍的原理就是把陰極靶作為蒸(zhēng)發源,通(tōng)過靶與陽極殼(ké)體之間的弧光放電(diàn),使靶材蒸(zhēng)發,從而在空間(jiān)中形成等離子體,對基體進行沉(chén)積。

應用範圍

可(kě)以鍍製不鏽鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜,也可鍍製合金膜或化合物,如TiN\TiAlN\CrN膜等,臥式多弧離子鍍膜機主要針對大麵積五金工件鍍裝飾膜或者功(gōng)能(néng)膜(mó),適合於在不鏽鋼板、不鏽鋼管、不鏽鋼門等工件表麵鍍膜。

產品特點

1)、此類設備真空室最大尺寸能實現 φ5000X10000MM(長)
2)、是在大型板材、管材上鍍製各類裝飾膜層(céng)及功能膜膜層的適合設備。

技術參數表

HLB係列大型板材管材真空鍍膜機     
型號HLB-1800HLB-2000HLB-3000HLW-2000HLW3000HLW-4000HLW-5000
真空室尺(chǐ)寸 Φ1800×2000MMΦ2000×2000MMΦ3000×3000MMΦ2000×6000MMΦ3000×6000MMΦ4000×8000MMΦ5000×10000MM
真(zhēn)空機組(zǔ)雙KT800擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散泵機(jī)組*2套雙KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴散(sàn)泵機組*4套
鍍膜係統專(zhuān)用多弧鍍(dù)膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形弧靶(可選配)
輔助鍍膜(mó)係統低(dī)溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係(xì)統)
充氣係統質量流量計
控製方式手動或全自動
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均(jun1)按客戶(hù)實際工藝要求設計訂做
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