CJ係列磁控濺射真空鍍(dù)膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣(qì):66667
CJ係(xì)列磁(cí)控濺射真空鍍膜(mó)機的磁控(kòng)濺(jiàn)射工作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣(qì)體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中(zhōng)就發現了這種現象。磁控濺射靶(bǎ)采用靜(jìng)止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數(shù)電(diàn)場則分別用於平麵(miàn)靶和同(tóng)軸圓柱靶(bǎ)。電子(zǐ)在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片(piàn),Ar+在電(diàn)場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能量轟擊靶(bǎ)表麵,使(shǐ)靶材發生濺射。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工(gōng)藝美(měi)術品、玩(wán)具、車燈反光罩、手(shǒu)機按(àn)鍵外殼(ké)以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵(miàn)裝飾性鍍膜及工模具的(de)功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等(děng)領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜(mó)可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附(fù)著力(lì)強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注入現象(xiàng),在基片上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的偽擴散(sàn)層(céng);
3)、製備特殊材料的薄膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可(kě)濺(jiàn)射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高(gāo),濺射膜層中不會(huì)混入坩鍋(guō)加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加(jiā)熱直(zhí)接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係(xì)列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機(jī)組 | KT500擴散泵機組(zǔ) | KT800擴散泵(bèng)機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 |
鍍膜係統 | 直流或中頻電源、鍍膜輔助離子專用電源 |
充氣係統 | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 |
控(kòng)製方(fāng)式 | 手動或全自動(dòng) | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全(quán)自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以(yǐ)上設備參數僅做參(cān)考,具體均按客(kè)戶實際工(gōng)藝要求設計訂(dìng)做 |