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現代真空鍍(dù)膜機膜厚的測量及監控(kòng)方法

作者: 來源: 日期:2016-01-12 16:12:17 人氣:94216
    最直接的鍍膜控製方(fāng)法是石英晶體微量平衡法(QCM),這種儀器可以直接驅動蒸發源,通過PID控製循環驅(qū)動擋板(bǎn),保持蒸發速率。隻要將儀器與係統控製軟件相連(lián)接,它就可以控製整個的鍍膜過(guò)程。但是(QCM)的精確度是有限的(de),部分原因是由於它監(jiān)控的是被鍍膜的質(zhì)量而不是其光學(xué)厚度(dù)。
    此外雖然QCM在較低溫度下非常穩定,但溫度較高時,它會變得對溫(wēn)度非常敏感。在長時間的加熱(rè)過程中,很(hěn)難阻止(zhǐ)傳感器跌(diē)入這個敏感區域,從而對膜層造成重大誤差。
    光學監控是高精密鍍膜的的首選監(jiān)控(kòng)方式(shì),這是因為它可以更精確地控製膜(mó)層厚度(如果運用得當)。精確度的改進源於很多因素,但最根本的原因是對光學厚度的(de)監控。
    OPTIMAL SWA-I-05單波長光學監控(kòng)係(xì)統,是采用(yòng)間接測控,結合汪博士開發(fā)的先進光(guāng)學監控軟件,有效提高光學反應對膜厚度變化靈敏度的理論和方法(fǎ)來減少終極誤差,提供了反饋或傳輸的選擇模式和大範圍的監測波長。特別適合於各種膜厚的鍍膜監控包括非規整膜監控。
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