1)、固定筒3 圓(yuán)筒(tǒng)形狀、大直徑、厚壁結構的設計和周向對稱的固定方式,可保證其(qí)有足夠的強度和(hé)剛度,同時,還可(kě)阻止高溫濺射磨料(liào)對其內部零(líng)部件汙染,保證撥動(dòng)盤15 轉動的靈活性。
2)、圓形軸承座2 的設計,保證軸承座安裝的密封(fēng)性和垂(chuí)直度;增大(dà)軸1 的直徑尺寸,加大軸承座2 中兩軸承的安裝間(jiān)距,提高其自身的強度和剛度,保證轉動過(guò)程(chéng)中軸1 的(de)剛度和撥動盤15的旋轉靈活性、位(wèi)置(zhì)重複的一致性。
3)、裝載換位機構,通過擴大支承盤16 的直徑,使(shǐ)該機構在平麵方(fāng)向的有效麵積增大,可安裝直徑(jìng)大(Φ26.5mm)的比較(jiào)片,有利於光路調整,提高光學(xué)薄膜質量;比(bǐ)較片(piàn)12 由單片玻璃作為(wéi)一個比較片(piàn)單元,比(bǐ)較片采(cǎi)用空間(jiān)立體疊加安裝方式,多片(piàn)玻璃疊加安裝在一個比較片存(cún)儲筒13 內,實現一次可放置50~100 片比較(jiào)片,解決
鍍膜機鍍製多層精密(mì)光學薄膜(mó),比較片數量少影響鍍膜層數和精度的問題。
4)、定位盤6 與槽型光藕17 的配合,通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫,控製電機轉動(dòng)停(tíng)止。軸1 旋轉定位重複的一致性得(dé)到(dào)保證,帶(dài)動撥(bō)動盤15 完成準確的撥片動作。
5)、 轉動密封饋入機構引(yǐn)入(rù)威爾遜密封機構(gòu)5,既保證電機9 通(tōng)過齒輪齧合帶(dài)動軸1 的靈(líng)活轉(zhuǎn)動,又保證真空室對外部的密封作用。優化設計的真空鍍膜機多片式比較(jiào)片裝置,其特點(diǎn):(1)結構簡(jiǎn)單,強度高,可靠性好;(2)比較片裝(zhuāng)載數(shù)量大,生產(chǎn)效率提高,可鍍(dù)製(zhì)超多層精密光學薄膜;(3)比較片直徑增(zēng)大,提高薄膜監控的精度,降低對(duì)硬件係統的要求,係統容易實現自動控製;(4)維護保養費用低。
通過對真空鍍膜機多片式比較(jiào)片裝置的優化設計,保證了比較片機構撥片轉動的(de)靈活性和重複的一致性,解決了比較片有效(xiào)麵積小,光路調整不方便,光(guāng)信號信噪比差的問題,又解決了比(bǐ)較片(piàn)裝載數量少(shǎo)的問題,可以使現有(yǒu)的真空鍍膜機鍍製光學薄膜的質量大大提高,並且30 層(céng)以上的光學薄膜得以鍍製完成。實踐證明此比(bǐ)較片結構是有用的,可以在現代的光學真空(kōng)鍍膜行業進行推廣和(hé)實施,