油（yóu）擴（kuò）散（sàn）泵的應用壓強範（fàn）圍是10-1帕-10-7帕，它（tā）是利用氣體（tǐ）的擴散（sàn）現象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大（最高可以達到10+5升/秒）等特點。油擴散（sàn）泵主要由泵殼（ké）、噴嘴、導流管和加熱器組成，裏麵主要添加擴散泵油（日本的型號是D-704#），根據噴嘴的多少可以分為（wéi）單級（jí）泵和多級泵。 

        擴散泵底部內儲存有擴（kuò）散泵油，上部為進氣口，右側旁下部為出氣口，在工作時出氣口由機械泵提供前置（zhì）壓強，機械泵充當前置泵（bèng）。 

        當擴（kuò）散泵的油被電爐加熱時，產生的油蒸汽提供前置壓強，機械泵充當前置泵。當擴散泵油被電爐加熱（rè）時，產生的油蒸汽沿著導（dǎo）流管經傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外麵有機械泵提供的1-10-1帕（pà）的真空，故油蒸汽可噴出一段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流最後碰上由冷卻（què）水冷卻的泵壁，凝結為（wéi）液體，流回蒸發器，即靠油的蒸發——噴射（shè）——凝結，重複循環來實現抽氣的。 

         由進氣口進（jìn）入（rù）泵內的（de）氣體分子，一旦落入（rù）蒸汽流中，便獲得向下運（yùn）動的動量，向下飛去（qù），由於射流具有（yǒu）高的流（liú）速（約200米/秒），高的蒸汽密度，且擴散泵油（yóu）具有高的分子量（liàng）（300-500）故能有效的帶（dài）走氣體分（fèn）子，因此在射流的界麵內，氣體分子（zǐ）不可能長期滯留（liú），且在（zài）射流界麵的兩邊（biān），被抽氣體有很大（dà）的濃度差，正是因為這個濃度（dù）差被抽氣體能不斷（duàn）的越過界麵，擴散進入射流中，被帶往出口處，在出（chū）口處（chù）再（zài）由機械（xiè）泵抽走。 

         擴散泵的油蒸（zhēng）汽壓是決（jué）定泵的極限真空的重要因（yīn）素，因此盡量（liàng）選用飽和蒸汽壓（yā）低的泵油，其化學特性要（yào）好。 

         擴散泵不能單（dān）獨用來抽氣，一般要求泵的最大出口壓強（qiáng）為40帕。擴散泵的抽速決定於第一級噴嘴與泵體進氣口口徑間環形麵積的大小，抽速不是一恒（héng）定的（de）值，而是隨著進氣口的（de）壓強而變化的，當壓強在10-2～10-3帕的時候，擴散泵的抽氣速（sù）度是最快的，當壓強小於5*10-4帕之後，擴散泵的抽氣速度最小，幾乎（hū）沒有抽氣（qì）能（néng）力（此時，進氣口的壓強（qiáng）較高，由於空氣（qì）的密（mì）度較大，使蒸汽流形（xíng）成不了（le）高速射流以阻擋空氣的（de）反擴散，所以抽速下降）。 

        擴（kuò）散泵在安裝前要清洗，之後才可以裝入擴散油，油在加（jiā）熱前，必須要先對泵抽真空，停機前要先將擴散泵（bèng）油冷卻到60～70攝氏度，才（cái）可以關閉前級抽氣，最後關冷（lěng）卻水。 

       由於油擴（kuò）散泵是無法（fǎ）杜絕有返油（yóu）的幾（jǐ）率，那麽沒（méi）有辦法保（bǎo）證精密產（chǎn）品的100％純淨，特別是半導體行業，所以就有“高（gāo）真空（kōng）冷凝泵＋低真空（kōng）機械泵”所組成的無油真空係統，冷凝泵組成的排氣係統（tǒng）不僅排氣效率極高，而且有效保證真空腔的清潔，保證產品的質量（避免產品被汙染、增強膜層與基板之間的附著力），但是其維護（hù）成本非常的高，造價昂貴，所以普及率沒（méi）有油擴散泵廣泛。 

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