真空鍍膜設備需要的環境要求
作者: 來源: 日期:2018-01-05 15:47:32 人氣:4570
真空鍍(dù)膜設備要在真空條件下工作,因此該設備要滿足真空對環境的要求。真空對(duì)環境的要求,一般包括真空設備對所處實驗室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環境的要求,和對處於真空狀態或(huò)真空中的零件或表麵要(yào)求兩個方麵。
這兩個方麵是有密切聯係的。周圍環境的好(hǎo)壞直(zhí)接影(yǐng)響真空設備的正常使用;而真空設備的真空(kōng)室或裝入裏麵的零件是否清洗,又直接影響設備(bèi)的(de)性能。如果空氣中含有(yǒu)大量的水蒸氣和灰塵,在(zài)真空室沒有經過清洗的情況下用油封機械泵(bèng)去抽(chōu)氣,要達到預期的真空度很難的。眾(zhòng)所周,油封式機(jī)械泵不(bú)宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油其反應的以(yǐ)含有(yǒu)顆粒(lì)塵埃的氣體(tǐ)。水蒸氣為可凝性氣體,當大量抽除可凝性氣體時,對泵油的汙染會更(gèng)加嚴(yán)重(chóng),結果使泵的極(jí)限真空下降,破壞了泵的抽氣性能。
工業環境中的粉塵是以粉狀體、眼(yǎn)無題、粉塵來(lái)區分的。粉狀(zhuàng)體是粉末或固(gù)體顆粒的集合或分散(sàn)狀態的物質。所謂粉末是指微小的固體(tǐ)顆粒的集(jí)合,而顆粒是指能夠一個一個計數的微小物質。煙霧體是以固體或液體的(de)微(wēi)小顆粒呈浮狀態存在(zài)於氣體中的物質體係。物質無論是固(gù)體還是液體,凡是呈顆粒狀(zhuàng)態均可統稱為塵粒。以塵粒直徑的大小來確定空氣清潔度的標準(zhǔn),從而(ér)定製出潔淨(jìng)室的等級。不僅適合於有潔淨要求的工(gōng)業部門,也適合於真空對潔淨環境(jìng)的要求。