真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空設備，一（yī）般用真空（kōng）室、真空機組、電氣控製櫃三大（dà）工作原理（lǐ）。

真空主題--真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用最多的有直徑（jìng）0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體由不鏽鋼材料製（zhì）作，要求不生鏽、堅實等，真空腔各部分有（yǒu）鏈接閥，用來鏈接各抽氣泵浦。

輔助抽（chōu）氣係（xì）統：排（pái）氣係統為鍍膜機真空係統的重要部分，主（zhǔ）要（yào）有由機械泵、增壓泵（主要（yào）介紹羅（luó）茨泵）、油擴散泵（bèng）三大部分組成，此排氣係統采（cǎi）用“擴散泵+機械泵+羅（luó）茨（cí）泵+低溫冷阱+polycold組成”。

排氣流程為：機（jī）械泵先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態，為擴散泵後續抽真空提供前提，之後當擴散泵抽真空的時候，機械泵又配合（hé）油擴散泵組成串聯，已這樣的（de）方式完成抽氣動作（zuò）。

 機械泵：也叫前級泵，機械（xiè）泵是應用最廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果並依靠機械的方法不斷的改（gǎi）變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨（péng）脹從而獲得真空（kōng）。