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物理(lǐ)蒸(zhēng)鍍就(jiù)是把物質加熱(rè)揮發,然後將其蒸氣沉積在預定的基材上。由於蒸發源須加熱揮發,又是在真空中進行,故(gù)亦稱為熱蒸鍍或真(zhēn)空蒸鍍。
其可分為三(sān)個步驟:
(1)凝態的物質被加熱揮發成汽相 (2)蒸汽在具空中移動(dòng)一段(duàn)距離至基材 (3)蒸汽在基材上冷卻凝結(jié)成薄(báo)膜