微信掃一（yī）掃 關（guān）注浦（pǔ）元最新動態！1. 電阻蒸發源蒸鍍發
A. 加熱：高熔點金屬做成適當形狀蒸發源，電流通過直接加熱。
B. 優點：結構簡單、造價便宜、使用可靠
C. 缺點（diǎn）：所能到到的最高溫度有限，加熱器壽命較短
D. 適合：熔點不（bú）太高，尤（yóu）其對膜層質量要求不大高的大批量生（shēng）產。
2. 電子束蒸發（fā）源蒸鍍發
A. 蒸（zhēng）發（fā）材料放入冷水鉗鍋中，利用電子束（shù）加熱（rè）
B. 優點：獲得更大能量（liàng）密度（dù），使高熔點材料（liào）蒸發且（qiě）速度快，膜的純度（dù）較高，熱效率高（gāo）。
C. 分類（lèi）：環形槍（qiāng），直槍，e型槍和空心（xīn）陰極槍等幾種。
D. 適合：高熔點，純度要（yào）求高的（de）材料。