低真空（kōng）的獲得  

獲得低真空常采用機械泵，機械泵是運用機械方法不斷地改變泵內（nèi）吸氣空腔的體積，使被（bèi）抽容器內氣（qì）體的體積不（bú）斷膨脹，從而獲得真空的裝置。

它可以直接在大氣壓下開始工作，極限真空（kōng）度（dù）一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率（lǜ）與轉速（sù）及空腔體積V的大小有關，一（yī）般在每秒幾升到每秒幾十升之間。

高真空的獲得 

目（mù）前，廣泛使用的獲得高真（zhēn）空的泵就（jiù）是擴散泵。擴（kuò）散泵是利用氣體擴（kuò）散現象（xiàng）來抽氣的，它不能直接在大（dà）氣壓下工作，而需要一定的預備真空度（1.33-0.133Pa）。

油擴散泵（bèng）的極（jí）限（xiàn）真空度主要取決於油蒸汽（qì）壓和氣體分子的反（fǎn）擴散，一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與結構相關，每（měi）秒幾升--幾百升不等。