質量流量計，即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測（cè）量氣體流量的儀表，

其測量值不因溫度或壓力的（de）波動而失（shī）準，不需要溫度（dù）壓力補償。

質量流量控製器，即Mass flow controller(縮寫（xiě）為MFC），不但具有質量流量（liàng）計的功（gōng）能，

更重要的是，它能（néng）自動控（kòng）製氣體流量（liàng），即（jí）用戶可根（gēn）據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒（héng）定在設定（dìng）值上，

即使係統壓力有波動或環境溫度有（yǒu）變化，也不會使其偏離設定值。

簡（jiǎn）單（dān）地（dì）說（shuō），質量流量控製器就是一個穩（wěn）定裝（zhuāng）置（zhì），是一個可以手動設定或（huò）與計算機聯接自動控製的氣體穩流裝置。