真空鍍膜機主要指一類需要在較高（gāo）真空度下進行的鍍膜，具體（tǐ）包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺（jiàn）射，MBE分（fèn）子（zǐ）束外延，PLD激光濺射沉積等很（hěn）多種。主（zhǔ）要思路是分成蒸（zhēng）發和濺射兩種（zhǒng）。真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的設備，對其操作程序的了解是至關重要的環節，在真空鍍膜機的具體操（cāo）作過程中建議參照以下標注說明：

        一、 檢查真空鍍膜機各操作（zuò）控製（zhì）開關是否在"關"位置（zhì）。

        二、打開總電源開關，設備送電。

        三、低壓閥拉出。開充氣閥（fá），聽不到氣流聲後，啟動（dòng）升鍾罩閥，鍾罩升起。

        四、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在（zài）轉動圓（yuán）盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清理鍾罩內各部位，保（bǎo）證無任何雜質汙（wū）物。

        五、落下鍾罩。

        六（liù）、啟動抽真空機械泵。

        七、開複合真空計電源(複合真空計型號:Fzh-1A)。

               1）左旋（xuán）鈕"1"順時針旋轉至指向2區段的加熱位置。

               2）低真空表"2"內指針順（shùn）時針移動，當（dāng）指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

        八、當低真空表"2"內指針再（zài）次順時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入。這時（shí）左旋鈕"1"旋轉至指向1區（qū）段測量位置。

        九、 真空（kōng）鍍膜機（jī）開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

        十、低壓閥拉出。重複（fù）一次⑦動作程序（xù）:左下（xià）旋鈕"1"轉至指向2區段測量位置。低真空（kōng）表"2"內指針順時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開高壓閥(閥杆（gǎn）順時針旋（xuán）轉)。

        十一、等低（dī）真空表"2"內指針右移動至0.1Pa時，開規管（guǎn）燈絲（sī）開關。

                1）發射、零點測量（liàng）鈕"9"旋轉至指向發射位置。

                2）左下旋鈕"1"旋轉至指（zhǐ）向1區段測量位置。

        十二、 旋轉發射調節鈕"4"，使高壓真空（kōng）表"5"內指針指向5。

        十三、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向零點位置。

        十四（sì）、旋（xuán）轉零點調節鈕（niǔ）"10"，讓高壓真空表"5"內指針指向（xiàng）0位（wèi）置。

        十（shí）五（wǔ）、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向測量位置（zhì）。

        十六、旋轉標準調節鈕"3"，讓高壓真空表（biǎo）"5"內指針指向10。

        十七、旋轉"倍加（jiā）器"開關鈕"8"至指向10-12，當高（gāo）壓真空表"5"內指針（zhēn）逆時針左移超過1時，再（zài）把"倍加器"開關旋鈕"8"旋轉至指（zhǐ）向10-3。

        十八、當高壓真空表"5"內指針逆（nì）時針移動超過6.7Pa時（shí），開工件旋轉鈕開關，鍾罩內被鍍件PVDF膜轉動（dòng）。

        十九、開蒸發鈕開關。把電流分插（chā）塞插入蒸發電極分配孔內(設有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

        二十、 右手旋轉右側調壓（yā）器（qì）手輪，慢（màn）慢旋轉升壓。

                  1）從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況。

                  2）當鎢螺旋加熱（rè）子顏色變（biàn）成黃橙色，鋁（lǚ）絲開始熔化時，左手操作擋板鈕，移開鎢螺旋上方擋板。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發，擋板（bǎn）回原位。

                  4）右手旋轉調壓器手輪回零位（wèi）。第一次蒸鍍工作完成。

        二十一、 如果再想（xiǎng）蒸鍍一次(為了增加電（diàn）極金屬（shǔ）層厚度):把電流分插塞撥出插入另一個電極分配（pèi）孔（kǒng）。重複⑳操作動作。

        二十二、 關（guān）閉規管燈絲（sī）開關。關閉高壓閥(逆時針轉手柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸發（fā）。旋轉（zhuǎn）機械泵鈕至指向擴散泵位置（zhì）。

        二十三、 低壓（yā）閥拉出。鍾罩充氣。充氣一段時間，當沒有氣.聲時（shí），升鍾罩。

        二十四、鎢螺旋加熱子內加鋁絲（sī）。PVDF薄膜調換另一麵向下 (原下麵已（yǐ）鍍一層鋁膜麵向上)。緊固在轉動圓盤上。

        二十五、 落（luò）鍾罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量（liàng）位置 。

                    2）當（dāng）低壓真空表"2"內（nèi）指針順時針移動到6.7Pa時，低（dī）壓閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉（zhuǎn）至（zhì）指向1區段測量位置。

                    4）當低壓真（zhēn）空表"2"內指針（zhēn）順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕"1"旋轉至（zhì）指（zhǐ）向2區段測量位置（zhì）。

                    5）當低壓真空表"2"內指（zhǐ）針順時針移動到指向0.1Pa時，開規（guī）管燈絲。

                    6）由⑰開始重複操作至⑳ 。

        二十六、 正（zhèng）常生產中，如遇到突然停電時，要立（lì）即切斷高真空測量，關閉規管燈絲，高（gāo）壓閥、低壓（yā）閥拉出（chū）。來電後，先讓機械泵啟動工作3~5min後，再轉入正常生產。