浦元真(zhēn)空(kōng)帶你(nǐ)了解真空(kōng)蒸發鍍膜法的概念:
1.基本原理:真空蒸發(fā)鍍膜法(簡稱真空蒸(zhēng)鍍)是在真空室中加熱蒸發容器(qì)中待形成薄膜的原材料使其原子或分子從表麵氣化逸出,形成蒸汽(qì)流入射到固體(tǐ)(稱為襯底或基片(piàn))表麵凝結形(xíng)成固態薄膜的方法。
2.真空蒸鍍時尤其(qí)是對真空環境的要求更嚴格其原因有:
A.防止在高溫(wēn)下因空氣(qì)分子和蒸發(fā)源發生反應;
B.防止因蒸發物質的分子在鍍膜室內與空氣分子碰撞;
C.防止空氣分子作為雜質混入膜內或者在薄膜中形成化合物;
3.設(shè)備:真空鍍膜室和真空抽氣係統兩大部分組成。真空鍍膜室內裝有蒸發源、被蒸鍍材料、基片支架及基片等。