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鍍(dù)膜工藝(yì)設計

作者: 來源: 日期:2020-11-23 11:28:29 人氣:9714

鍍膜(mó)工藝之設計應著重(chóng)考慮不同薄膜材料之間需要不同的沉積工藝,

不同濺射技術的實施(直流、中頻、射(shè)頻、脈衝、反應濺射,以(yǐ)及它們之間的結合而發展的(de)技術,或者新技術(shù)的應用等),

同種技(jì)術不同工藝參數的調整(功率,氣壓,沉積方式等),前處理(lǐ)(清洗、預熱等),後處理(熱處理等)。

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